TITANIUM SILICIDE FORMATION BY ION-BEAM MIXING AND RAPID THERMAL ANNEALING

被引:13
作者
MATTIUSSI, GA
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1986年 / 4卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.583457
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:1352 / 1357
页数:6
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