スパッタリングターゲット、および、Ag膜[ja]

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申请号
JP20210177704
申请日
2021-10-29
公开(公告)号
JP2022124997A
公开(公告)日
2022-08-26
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C23C14/34
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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